研发纳米级精度微运动让高端精密装备有了“芯”

　　为满足精密加工制造、半导体、显微科学、光通信、生物技术等领域对于样品的精密定位、光路精密调整、光束精密聚焦、精密计量与检测等应用的需求，哈尔滨芯明天科技有限公司研发了纳米级精度微运动及控制系统，其性能与国外产品相当或更高，并且在价格、服务响应速度、定制化周期、产品交付速度等方面具有明显优势。

　　据了解，纳米级精度微运动及控制系统是以压电陶瓷作为驱动源，结合精密的机械结构、配置高精度的传感器，通过专业的驱动控制器进行驱动控制实现精密平移，偏摆，旋转等精密微运动。运动与控制的精度可以实现纳米级，分辨率亚纳米级，响应速度快可达微秒级。

　　哈尔滨芯明天科技有限公司陈峰表示，传统的致动方式满足不了高精密的需求，比如说手动，或电机控制，都无法满足当下用户对于纳米级精度定位与运动的需求。新系统主要是采用压电陶瓷作为驱动源，压电陶瓷材料是一种功能性材料，随着驱动电压的变化而产生形变，通过增加传感器的闭环方式使得致动与电压呈线性关系，分辨率、定位精度均可达到纳米级，从而实现传统致动方式无法实现的纳米级微运动与控制。

　　据悉，纳米级精度微运动及控制产品的应用解决了超精密加工中刀具在纳米量级的微进给；解决了卫星激光通信实验中精密跟踪与瞄准的问题，推动了激光通信行业的发展；在半导体与IC装备上应用广泛，如光刻机、晶圆切割等，推动了市场对于消费电子产品小型化、快速化及零件价格低的需求；实现了光纤端面高精度显微成像检测，使光纤对接的更精准，大大降低了光的功率损耗，提高光纤通信速率；解决了光学显微成像聚焦精度问题，大大提高了成像清晰度，在生物医疗等应用领域起到了关键性的作用，对遗传性疾病、病毒基因、癌细胞的基因表达等检测起到了助力的作用。（记者　孙英鑫）